三氯氢硅并非天然存在的矿物资源，而是通过工业化学生产流程制备的特种化学品。其核心原料为冶金级硅(Si≥98.5%)与氯化氢气体，通过流化床反应器(FBR)在280-350℃温度范围内进行直接合成反应。需要重点关注原料纯度控制，特别是铁、铝等金属杂质含量需低于50ppm，否则会导致后续多晶硅生产过程中出现晶体缺陷。
在实际工业生产中，硅粉需预先经过酸洗处理去除表面氧化物，再与干燥氯化氢在加压条件下(0.3-0.5MPa)发生放热反应。反应过程中会生成多种副产物如二氯二氢硅(SiH₂Cl₂)和四氯化硅(SiCl₄)，需要通过精馏塔(理论板数≥60)进行连续分离提纯。现代工厂通常采用DCS控制系统实时监测反应温度波动(±2℃)和压力参数，确保三氯氢硅纯度达到电子级标准(≥99.9999%)。
针对安全防护环节，由于三氯氢硅遇水会剧烈反应产生氯化氢烟雾，整个生产系统必须保持严格干燥环境(露点≤-40℃)，同时配备二级碱液喷淋吸收装置处理尾气。运输环节需使用特种不锈钢槽车(材质316L)并充入干燥氮气保护，存储温度建议控制在20-30℃范围内以避免自发分解。随着光伏行业对高纯硅料需求增长，目前主流生产工艺已实现闭路循环，副产物四氯化硅可通过氢化装置(转化率≥85%)重新转化为三氯氢硅。
